P11.X一維X向壓電納米定位臺 100μm價格P11系列壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺，P11.X為一維壓電納米定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計，多維運(yùn)動無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺具有控制精度，分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 易于集成。

P11.X一維X向壓電納米定位臺 100μm價格

大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
P11系列納米定位臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源，可以實(shí)現(xiàn)1~3維100μm的精密運(yùn)動。 該系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本， 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)時對位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制。 P11系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度快，配套E52系列壓電控制器可實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時間。